功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2009年
6期
977-980
,共4页
阳极氧化%Ta2O5绝缘膜%击穿电压
暘極氧化%Ta2O5絕緣膜%擊穿電壓
양겁양화%Ta2O5절연막%격천전압
采用阳极氧化法在纯Ta表面制备绝缘性优良的Ta2O5介质膜,分析阳极氧化制备Ta2O5膜的基本机理,讨论不同电解液、阳极氧化电压及热处理等工艺参数对Ta2O5膜性能的影响.利用XRD、EDS和AFM分析薄膜的组织结构和表面形貌,超高阻微电流测试仪测试Ta2O5绝缘膜漏电流特性和耐击穿电压,结果表明,磷酸电解液中添加适当乙二醇溶液能有效地防止"晶化",阳极氧化电压在125～150V范围内制备Ta2O5绝缘膜耐击穿电压能力强,经350℃/60min大气气氛下热处理Ta2O5薄膜,内部结构致密,能有效提高Ta2O5绝缘膜耐击穿电压.
採用暘極氧化法在純Ta錶麵製備絕緣性優良的Ta2O5介質膜,分析暘極氧化製備Ta2O5膜的基本機理,討論不同電解液、暘極氧化電壓及熱處理等工藝參數對Ta2O5膜性能的影響.利用XRD、EDS和AFM分析薄膜的組織結構和錶麵形貌,超高阻微電流測試儀測試Ta2O5絕緣膜漏電流特性和耐擊穿電壓,結果錶明,燐痠電解液中添加適噹乙二醇溶液能有效地防止"晶化",暘極氧化電壓在125～150V範圍內製備Ta2O5絕緣膜耐擊穿電壓能力彊,經350℃/60min大氣氣氛下熱處理Ta2O5薄膜,內部結構緻密,能有效提高Ta2O5絕緣膜耐擊穿電壓.
채용양겁양화법재순Ta표면제비절연성우량적Ta2O5개질막,분석양겁양화제비Ta2O5막적기본궤리,토론불동전해액、양겁양화전압급열처리등공예삼수대Ta2O5막성능적영향.이용XRD、EDS화AFM분석박막적조직결구화표면형모,초고조미전류측시의측시Ta2O5절연막루전류특성화내격천전압,결과표명,린산전해액중첨가괄당을이순용액능유효지방지"정화",양겁양화전압재125～150V범위내제비Ta2O5절연막내격천전압능력강,경350℃/60min대기기분하열처리Ta2O5박막,내부결구치밀,능유효제고Ta2O5절연막내격천전압.
