液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2009年
3期
367-371
,共5页
薛书文%梅芳%肖世发%黄子康%莫东
薛書文%梅芳%肖世髮%黃子康%莫東
설서문%매방%초세발%황자강%막동
氧化锌%离子注入%掺杂
氧化鋅%離子註入%摻雜
양화자%리자주입%참잡
ZnO是一种在短波长光电器件领域有巨大应用价值的Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料,离子注入是常用的半导体掺杂技术,文章综述了国内外近年来离子注入技术在ZnO的n、p型掺杂等方面的研究进展.
ZnO是一種在短波長光電器件領域有巨大應用價值的Ⅱ-Ⅵ族化閤物半導體材料,離子註入是常用的半導體摻雜技術,文章綜述瞭國內外近年來離子註入技術在ZnO的n、p型摻雜等方麵的研究進展.
ZnO시일충재단파장광전기건영역유거대응용개치적Ⅱ-Ⅵ족화합물반도체재료,리자주입시상용적반도체참잡기술,문장종술료국내외근년래리자주입기술재ZnO적n、p형참잡등방면적연구진전.
