原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
7期
799-803
,共5页
刘春泽%周斌%周昌鹤%杜艾%沈军
劉春澤%週斌%週昌鶴%杜艾%瀋軍
류춘택%주빈%주창학%두애%침군
色分离光栅%衍射效率%光敏
色分離光柵%衍射效率%光敏
색분리광책%연사효솔%광민
以锆酸丁酯为源,通过溶胶凝胶法制备了一种光敏ZrO2溶胶,在熔石英表面通过提拉法镀制具有负性光刻胶性质的光敏凝胶薄膜.在此基础上,设计色分离光栅(CSG)的结构,通过二次曝光、显影过程,制备了具有三台阶结构的CSG.对光栅形貌进行表征,周期为210 μm,单台阶高度约为500 nm,光栅面积为30 mm×30 mm.采用Nd:YAG激光器对衍射效率进行了测量,测得CSG对355 nm激光衍射效率达到约88 4%,1 064 nm及532 nm激光的衍射效率分别为5 7%和4 2%.
以鋯痠丁酯為源,通過溶膠凝膠法製備瞭一種光敏ZrO2溶膠,在鎔石英錶麵通過提拉法鍍製具有負性光刻膠性質的光敏凝膠薄膜.在此基礎上,設計色分離光柵(CSG)的結構,通過二次曝光、顯影過程,製備瞭具有三檯階結構的CSG.對光柵形貌進行錶徵,週期為210 μm,單檯階高度約為500 nm,光柵麵積為30 mm×30 mm.採用Nd:YAG激光器對衍射效率進行瞭測量,測得CSG對355 nm激光衍射效率達到約88 4%,1 064 nm及532 nm激光的衍射效率分彆為5 7%和4 2%.
이고산정지위원,통과용효응효법제비료일충광민ZrO2용효,재용석영표면통과제랍법도제구유부성광각효성질적광민응효박막.재차기출상,설계색분리광책(CSG)적결구,통과이차폭광、현영과정,제비료구유삼태계결구적CSG.대광책형모진행표정,주기위210 μm,단태계고도약위500 nm,광책면적위30 mm×30 mm.채용Nd:YAG격광기대연사효솔진행료측량,측득CSG대355 nm격광연사효솔체도약88 4%,1 064 nm급532 nm격광적연사효솔분별위5 7%화4 2%.
