传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2010年
11期
1546-1549
,共4页
余柏林%龚汉东%王颖%余法红
餘柏林%龔漢東%王穎%餘法紅
여백림%공한동%왕영%여법홍
玻璃衬底%温差式%空气流量传感器
玻璃襯底%溫差式%空氣流量傳感器
파리츤저%온차식%공기류량전감기
提出一种基于玻璃的空气质量流量传感器,该传感器具有制造工艺简单、测试范围宽和抗流体冲击能力强的特点.通过CFD软件模拟了传感器芯片在各种情况下的温度场分布,得到了流速与芯片上下游温差的关系曲线,理论分析表明基于玻璃的流量传感器最大流可测速可达10 m/s.采用半导体工艺制备了基于玻璃的流量传感器,通过测试得到了芯片的输出信号电压和流速的关系曲线,在流速范围为0～10 m/s时,输出信号电压没有出现饱和现象.当芯片表面掠过流速为10 m/s时,测得芯片放大信号电压可达1.51 V.
提齣一種基于玻璃的空氣質量流量傳感器,該傳感器具有製造工藝簡單、測試範圍寬和抗流體遲擊能力彊的特點.通過CFD軟件模擬瞭傳感器芯片在各種情況下的溫度場分佈,得到瞭流速與芯片上下遊溫差的關繫麯線,理論分析錶明基于玻璃的流量傳感器最大流可測速可達10 m/s.採用半導體工藝製備瞭基于玻璃的流量傳感器,通過測試得到瞭芯片的輸齣信號電壓和流速的關繫麯線,在流速範圍為0～10 m/s時,輸齣信號電壓沒有齣現飽和現象.噹芯片錶麵掠過流速為10 m/s時,測得芯片放大信號電壓可達1.51 V.
제출일충기우파리적공기질량류량전감기,해전감기구유제조공예간단、측시범위관화항류체충격능력강적특점.통과CFD연건모의료전감기심편재각충정황하적온도장분포,득도료류속여심편상하유온차적관계곡선,이론분석표명기우파리적류량전감기최대류가측속가체10 m/s.채용반도체공예제비료기우파리적류량전감기,통과측시득도료심편적수출신호전압화류속적관계곡선,재류속범위위0～10 m/s시,수출신호전압몰유출현포화현상.당심편표면략과류속위10 m/s시,측득심편방대신호전압가체1.51 V.
