深圳大学学报（理工版）
深圳大學學報（理工版）
심수대학학보（리공판）
JOURNAL OF SHENZHEN UNIVERSITY (SCIENCE & ENGINEERING)
2011年
1期
17-22
,共6页
邓元龙%赵小丽%李学金%耿优福%洪学明%邱成军
鄧元龍%趙小麗%李學金%耿優福%洪學明%邱成軍
산원룡%조소려%리학금%경우복%홍학명%구성군
传感器技术%光纤光学%压力测量%微机电系统%Fabry-Perot干涉%方形硅膜%强度调制
傳感器技術%光纖光學%壓力測量%微機電繫統%Fabry-Perot榦涉%方形硅膜%彊度調製
전감기기술%광섬광학%압력측량%미궤전계통%Fabry-Perot간섭%방형규막%강도조제
研究基于强度解调技术的Fabry-Perot干涉型光纤微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS) 压力传感器.该传感器采用MEMS各向异性腐蚀工艺加工的方形硅杯,其硅杯结构尺寸和表面光洁度比圆形压力敏感膜一致性好.传感器采用大面积比的方法,降低硅敏感膜片弯曲变形所引起的非线性测量误差,新增参考光路以补偿光源功率波动对测量的影响.在0～38 kPa压力范围内实现了单值测量,相对灵敏度达到0.7%/kPa.实验与理论分析结果一致,具有很好的测量重复性.提出的多波长和多传感融合的测量方法,可用于扩大测量范围,提高灵敏度.
研究基于彊度解調技術的Fabry-Perot榦涉型光纖微機電繫統(micro-electro-mechanical systems,MEMS) 壓力傳感器.該傳感器採用MEMS各嚮異性腐蝕工藝加工的方形硅杯,其硅杯結構呎吋和錶麵光潔度比圓形壓力敏感膜一緻性好.傳感器採用大麵積比的方法,降低硅敏感膜片彎麯變形所引起的非線性測量誤差,新增參攷光路以補償光源功率波動對測量的影響.在0～38 kPa壓力範圍內實現瞭單值測量,相對靈敏度達到0.7%/kPa.實驗與理論分析結果一緻,具有很好的測量重複性.提齣的多波長和多傳感融閤的測量方法,可用于擴大測量範圍,提高靈敏度.
연구기우강도해조기술적Fabry-Perot간섭형광섬미궤전계통(micro-electro-mechanical systems,MEMS) 압력전감기.해전감기채용MEMS각향이성부식공예가공적방형규배,기규배결구척촌화표면광길도비원형압력민감막일치성호.전감기채용대면적비적방법,강저규민감막편만곡변형소인기적비선성측량오차,신증삼고광로이보상광원공솔파동대측량적영향.재0～38 kPa압력범위내실현료단치측량,상대령민도체도0.7%/kPa.실험여이론분석결과일치,구유흔호적측량중복성.제출적다파장화다전감융합적측량방법,가용우확대측량범위,제고령민도.
