应用化工
應用化工
응용화공
APPLIED CHEMICAL INDUSTRY
2011年
2期
210-214
,共5页
何姣%郭文迅%彭荡%贺倩
何姣%郭文迅%彭盪%賀倩
하교%곽문신%팽탕%하천
光刻胶%成膜树脂%甲基丙烯酸酯%碱溶性%分辨率
光刻膠%成膜樹脂%甲基丙烯痠酯%堿溶性%分辨率
광각효%성막수지%갑기병희산지%감용성%분변솔
以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)为单体,偶氮二异丁腈为引发剂,采用溶液自由基聚合方法,合成了甲基丙烯酸酯类光刻胶成膜树脂,研究了合成工艺对产物分子量及分子量分布的影响,并对其在光刻胶中的应用性能,如碱溶性、涂膜表面干燥性、感度和分辨率等进行了初步考察.结果表明,在引发剂用量为单体用量的0.6%～1%、反应温度80～85℃、3次进料条件下,制得的聚合物的重均分子量为44 341～53 696,分子量分布为3.66～5.69,由单体质量比MAA:MMA:BA为25:50:25的成膜树脂配制的光刻胶,分辨率达35 μm.
以甲基丙烯痠(MAA)、甲基丙烯痠甲酯(MMA)、丙烯痠丁酯(BA)為單體,偶氮二異丁腈為引髮劑,採用溶液自由基聚閤方法,閤成瞭甲基丙烯痠酯類光刻膠成膜樹脂,研究瞭閤成工藝對產物分子量及分子量分佈的影響,併對其在光刻膠中的應用性能,如堿溶性、塗膜錶麵榦燥性、感度和分辨率等進行瞭初步攷察.結果錶明,在引髮劑用量為單體用量的0.6%～1%、反應溫度80～85℃、3次進料條件下,製得的聚閤物的重均分子量為44 341～53 696,分子量分佈為3.66～5.69,由單體質量比MAA:MMA:BA為25:50:25的成膜樹脂配製的光刻膠,分辨率達35 μm.
이갑기병희산(MAA)、갑기병희산갑지(MMA)、병희산정지(BA)위단체,우담이이정정위인발제,채용용액자유기취합방법,합성료갑기병희산지류광각효성막수지,연구료합성공예대산물분자량급분자량분포적영향,병대기재광각효중적응용성능,여감용성、도막표면간조성、감도화분변솔등진행료초보고찰.결과표명,재인발제용량위단체용량적0.6%～1%、반응온도80～85℃、3차진료조건하,제득적취합물적중균분자량위44 341～53 696,분자량분포위3.66～5.69,유단체질량비MAA:MMA:BA위25:50:25적성막수지배제적광각효,분변솔체35 μm.
