传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
12期
95-97,101
,共4页
卢歆%何明轩%李源%傅云霞%汪红
盧歆%何明軒%李源%傅雲霞%汪紅
로흠%하명헌%리원%부운하%왕홍
电容传感器%微触觉测头%微小电容检测%AD7747%串行通信
電容傳感器%微觸覺測頭%微小電容檢測%AD7747%串行通信
전용전감기%미촉각측두%미소전용검측%AD7747%천행통신
针对纳米尺寸测量领域的不同测量要求,尝试开发一种基于电容传感器的微触觉测头及其电容检测系统.阐述了测头的结构原理和电容传感器的工作原理,研制了基于电容传感器的微触觉测头.测头的测量原理表明:微小电容检测电路是整个电容检测系统的关键部分.该微小电容检测电路选用电容/数字转换器(CDC) AD7747芯片,分别编写了单片机与该芯片的I2C通信程序和单片机与上位机间的串行通信程序,实现了微小电容的采集和处理,简单进行了电容式传感测头的轴向性能的测试实验.实验表明:电容式微触觉测头的分辨率为0.02 μm,重复性较好,证实了此电容式微触觉测头的可行性.
針對納米呎吋測量領域的不同測量要求,嘗試開髮一種基于電容傳感器的微觸覺測頭及其電容檢測繫統.闡述瞭測頭的結構原理和電容傳感器的工作原理,研製瞭基于電容傳感器的微觸覺測頭.測頭的測量原理錶明:微小電容檢測電路是整箇電容檢測繫統的關鍵部分.該微小電容檢測電路選用電容/數字轉換器(CDC) AD7747芯片,分彆編寫瞭單片機與該芯片的I2C通信程序和單片機與上位機間的串行通信程序,實現瞭微小電容的採集和處理,簡單進行瞭電容式傳感測頭的軸嚮性能的測試實驗.實驗錶明:電容式微觸覺測頭的分辨率為0.02 μm,重複性較好,證實瞭此電容式微觸覺測頭的可行性.
침대납미척촌측량영역적불동측량요구,상시개발일충기우전용전감기적미촉각측두급기전용검측계통.천술료측두적결구원리화전용전감기적공작원리,연제료기우전용전감기적미촉각측두.측두적측량원리표명:미소전용검측전로시정개전용검측계통적관건부분.해미소전용검측전로선용전용/수자전환기(CDC) AD7747심편,분별편사료단편궤여해심편적I2C통신정서화단편궤여상위궤간적천행통신정서,실현료미소전용적채집화처리,간단진행료전용식전감측두적축향성능적측시실험.실험표명:전용식미촉각측두적분변솔위0.02 μm,중복성교호,증실료차전용식미촉각측두적가행성.
