表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2012年
1期
75-78
,共4页
物理气相沉积%晶粒尺寸%杨氏干涉%多光源干涉%矢量叠加%MATLAB
物理氣相沉積%晶粒呎吋%楊氏榦涉%多光源榦涉%矢量疊加%MATLAB
물리기상침적%정립척촌%양씨간섭%다광원간섭%시량첩가%MATLAB
为在物理气相沉积过程中获得理想的晶粒尺寸,介绍了一种精确控制纳米晶粒尺寸的微观控制方法,即用光的干涉方法控制能量场分布.利用MATLAB的循环计算能力计算光的矢量叠加,仿真光的干涉,分别对扬氏干涉、三光源干涉以及多光源不同排布的干涉进行分析.经过分析可知:3个或3个以上的光源线性排列时,得到的条纹是将两光源的条纹打碎；而多个光源按正多边形排列的干涉,规律排布区域出现在光源围成的区域中间,3个、4个及6个光源规律排布区域中加强点的间距分别为λ/(√3),λ(√2)和2λ；若要得到1 cm2规律排布区域,3个光源与规律排布区域中心的距离为0.1m,4个光源则为1 m.
為在物理氣相沉積過程中穫得理想的晶粒呎吋,介紹瞭一種精確控製納米晶粒呎吋的微觀控製方法,即用光的榦涉方法控製能量場分佈.利用MATLAB的循環計算能力計算光的矢量疊加,倣真光的榦涉,分彆對颺氏榦涉、三光源榦涉以及多光源不同排佈的榦涉進行分析.經過分析可知:3箇或3箇以上的光源線性排列時,得到的條紋是將兩光源的條紋打碎；而多箇光源按正多邊形排列的榦涉,規律排佈區域齣現在光源圍成的區域中間,3箇、4箇及6箇光源規律排佈區域中加彊點的間距分彆為λ/(√3),λ(√2)和2λ；若要得到1 cm2規律排佈區域,3箇光源與規律排佈區域中心的距離為0.1m,4箇光源則為1 m.
위재물리기상침적과정중획득이상적정립척촌,개소료일충정학공제납미정립척촌적미관공제방법,즉용광적간섭방법공제능량장분포.이용MATLAB적순배계산능력계산광적시량첩가,방진광적간섭,분별대양씨간섭、삼광원간섭이급다광원불동배포적간섭진행분석.경과분석가지:3개혹3개이상적광원선성배렬시,득도적조문시장량광원적조문타쇄；이다개광원안정다변형배렬적간섭,규률배포구역출현재광원위성적구역중간,3개、4개급6개광원규률배포구역중가강점적간거분별위λ/(√3),λ(√2)화2λ；약요득도1 cm2규률배포구역,3개광원여규률배포구역중심적거리위0.1m,4개광원칙위1 m.
