硬质合金
硬質閤金
경질합금
CEMENTED CARBIDE
2011年
5期
300-304
,共5页
类金刚石(DLC)薄膜%表面腐蚀%Murakami试剂%附着力
類金剛石(DLC)薄膜%錶麵腐蝕%Murakami試劑%附著力
류금강석(DLC)박막%표면부식%Murakami시제%부착력
在刀具上沉积类金刚石(DLC)薄膜的关键技术问题是如何提高DLC薄膜的附着力,以发挥DLC薄膜在刀具涂层领域的优势.本文通过对微型钻头表面进行不同的化学预处理后利用射频等离子体化学气相沉法沉积DLC薄膜,对影响膜基附着力的内在规律进行了探讨.结果表明:采用简单酸碱腐蚀(先后使用NaOH溶液和HNO3溶液进行腐蚀)对DLC薄膜附着力的提高有一定作用,而综合腐蚀(首先使用酸碱腐蚀,然后使用Murakami试剂腐蚀)的效果更佳;此外,使用Murakami试剂腐蚀时间过长(超过6 min)会影响钻头本体的机械强度.实验结果对于DLC薄膜作为微型钻头涂层的应用具有很好的指导意义.
在刀具上沉積類金剛石(DLC)薄膜的關鍵技術問題是如何提高DLC薄膜的附著力,以髮揮DLC薄膜在刀具塗層領域的優勢.本文通過對微型鑽頭錶麵進行不同的化學預處理後利用射頻等離子體化學氣相沉法沉積DLC薄膜,對影響膜基附著力的內在規律進行瞭探討.結果錶明:採用簡單痠堿腐蝕(先後使用NaOH溶液和HNO3溶液進行腐蝕)對DLC薄膜附著力的提高有一定作用,而綜閤腐蝕(首先使用痠堿腐蝕,然後使用Murakami試劑腐蝕)的效果更佳;此外,使用Murakami試劑腐蝕時間過長(超過6 min)會影響鑽頭本體的機械彊度.實驗結果對于DLC薄膜作為微型鑽頭塗層的應用具有很好的指導意義.
재도구상침적류금강석(DLC)박막적관건기술문제시여하제고DLC박막적부착력,이발휘DLC박막재도구도층영역적우세.본문통과대미형찬두표면진행불동적화학예처리후이용사빈등리자체화학기상침법침적DLC박막,대영향막기부착력적내재규률진행료탐토.결과표명:채용간단산감부식(선후사용NaOH용액화HNO3용액진행부식)대DLC박막부착력적제고유일정작용,이종합부식(수선사용산감부식,연후사용Murakami시제부식)적효과경가;차외,사용Murakami시제부식시간과장(초과6 min)회영향찬두본체적궤계강도.실험결과대우DLC박막작위미형찬두도층적응용구유흔호적지도의의.
