材料科学与工程
材料科學與工程
재료과학여공정
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2001年
4期
32-36
,共5页
黄峰%程珊华%宁兆元%杨慎东%叶超%甘肇强
黃峰%程珊華%寧兆元%楊慎東%葉超%甘肇彊
황봉%정산화%저조원%양신동%협초%감조강
微波ECR-CVD%a-C:F膜%微波功率
微波ECR-CVD%a-C:F膜%微波功率
미파ECR-CVD%a-C:F막%미파공솔
用苯(C6H6)和四氟甲烷(CF4)混合气体作源气体,用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积技术制备了含氟非晶碳膜(a-C:F).着重讨论了输入的微波功率对成膜结构和性质的影响.我们对沉积的膜作了膜厚、扫描电子显微表面形貌(SEM)、紫外-可见光透射谱(UV-VIS)、傅立叶红外变换(FTIR)等的测量.结果表明随着微波功率的增加沉积速率一直在上升;同时膜中缺陷增多;从FIIR的结果我们发现膜中主要以C-F、CF2和F-芳基成键;通过UV-VIS吸收谱的测量的结果我们求出了折射率和光学带隙;并且将光学带隙和膜中的sp2碳浓度建立关系.
用苯(C6H6)和四氟甲烷(CF4)混閤氣體作源氣體,用微波電子迴鏇共振等離子體化學氣相沉積技術製備瞭含氟非晶碳膜(a-C:F).著重討論瞭輸入的微波功率對成膜結構和性質的影響.我們對沉積的膜作瞭膜厚、掃描電子顯微錶麵形貌(SEM)、紫外-可見光透射譜(UV-VIS)、傅立葉紅外變換(FTIR)等的測量.結果錶明隨著微波功率的增加沉積速率一直在上升;同時膜中缺陷增多;從FIIR的結果我們髮現膜中主要以C-F、CF2和F-芳基成鍵;通過UV-VIS吸收譜的測量的結果我們求齣瞭摺射率和光學帶隙;併且將光學帶隙和膜中的sp2碳濃度建立關繫.
용분(C6H6)화사불갑완(CF4)혼합기체작원기체,용미파전자회선공진등리자체화학기상침적기술제비료함불비정탄막(a-C:F).착중토론료수입적미파공솔대성막결구화성질적영향.아문대침적적막작료막후、소묘전자현미표면형모(SEM)、자외-가견광투사보(UV-VIS)、부립협홍외변환(FTIR)등적측량.결과표명수착미파공솔적증가침적속솔일직재상승;동시막중결함증다;종FIIR적결과아문발현막중주요이C-F、CF2화F-방기성건;통과UV-VIS흡수보적측량적결과아문구출료절사솔화광학대극;병차장광학대극화막중적sp2탄농도건립관계.
