一种振梁电容式硅微加速度计的设计与分析
일충진량전용식규미가속도계적설계여분석
Design and Analysis of a Capacitive Vibrating-Beam Micromachined Silicon Accelerometer
  • 万方数据
    沈阳工业学院学报 침양공업학원학보
    JOURNAL OF SHENYANG INTITUTE OF TECHNOLOGY
    2004年 4期 31-34,30 ,共5页

    高奂文%董慧颖

    고환문%동혜영

    硅微结构%振梁%悬臂梁%检测电路 硅微結構%振樑%懸臂樑%檢測電路
    규미결구%진량%현비량%검측전로
    从对硅微加速度计的材料特性、微结构特性研究着手,通过对现有类型加速度计进行分析与整合,设计出一种新的硅微结构及与之匹配的微检测电路,最后通过仿真表明该加速度计具有良好的功能特性.
    종대규미가속도계적재료특성、미결구특성연구착수,통과대현유류형가속도계진행분석여정합,설계출일충신적규미결구급여지필배적미검측전로,최후통과방진표명해가속도계구유량호적공능특성.
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