磁性材料及器件
磁性材料及器件
자성재료급기건
JOURNAL OF MAGNETIC MATERIALS AND DEVICES
2005年
1期
29-31
,共3页
李恒菊%李银祥%邓志刚%姚向东%张立军
李恆菊%李銀祥%鄧誌剛%姚嚮東%張立軍
리항국%리은상%산지강%요향동%장립군
磁致伸缩%微位移%定位%控制系统
磁緻伸縮%微位移%定位%控製繫統
자치신축%미위이%정위%공제계통
稀土超磁致伸缩材料广泛应用于传感器、执行器.本文介绍了我们研制的一种磁致伸缩微位移工作台的结构、运动原理以及新型精密定位控制方法,即电磁式吸紧定位.实验测量微位移最小分辨率达2nm.整个微位移工作台结构简单,位移分辨率高,且能够实现双向可控运动.
稀土超磁緻伸縮材料廣汎應用于傳感器、執行器.本文介紹瞭我們研製的一種磁緻伸縮微位移工作檯的結構、運動原理以及新型精密定位控製方法,即電磁式吸緊定位.實驗測量微位移最小分辨率達2nm.整箇微位移工作檯結構簡單,位移分辨率高,且能夠實現雙嚮可控運動.
희토초자치신축재료엄범응용우전감기、집행기.본문개소료아문연제적일충자치신축미위이공작태적결구、운동원리이급신형정밀정위공제방법,즉전자식흡긴정위.실험측량미위이최소분변솔체2nm.정개미위이공작태결구간단,위이분변솔고,차능구실현쌍향가공운동.
