光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2006年
1期
39-41,46
,共4页
光学倍乘%零光程差%绝对距离测量%相干性
光學倍乘%零光程差%絕對距離測量%相榦性
광학배승%령광정차%절대거리측량%상간성
介绍了一个基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统.系统包括两个干涉仪:采用半导体激光器作为光源的定位干涉仪和测量位移的外差干涉仪.介绍了光源的选择,系统的设计以及信号的采集和处理方案.采用这套绝对测量系统,可以实现长度为2m以内的绝对距离测量,定位精度可以达到±0.5μm.
介紹瞭一箇基于光學倍乘原理的絕對距離榦涉測量繫統.繫統包括兩箇榦涉儀:採用半導體激光器作為光源的定位榦涉儀和測量位移的外差榦涉儀.介紹瞭光源的選擇,繫統的設計以及信號的採集和處理方案.採用這套絕對測量繫統,可以實現長度為2m以內的絕對距離測量,定位精度可以達到±0.5μm.
개소료일개기우광학배승원리적절대거리간섭측량계통.계통포괄량개간섭의:채용반도체격광기작위광원적정위간섭의화측량위이적외차간섭의.개소료광원적선택,계통적설계이급신호적채집화처리방안.채용저투절대측량계통,가이실현장도위2m이내적절대거리측량,정위정도가이체도±0.5μm.
