新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2007年
6期
33-34
,共2页
光学测量%微探针%共振频率
光學測量%微探針%共振頻率
광학측량%미탐침%공진빈솔
电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面微观形貌轮廓纳米尺度微裂纹损伤检测要求越来越高.设计灵敏度高、重现性好、响应快速的微探针系统是实现纳米尺度分辨率、大视场损伤检测的关键部件之一.文中对设计的微探针系统受力阻尼谐振过程进行了分析,给出共振频率的测试方法.在此基础上进行了共振频率测试对比试验,并对微探针振动进行了测试.试验结果表明,设计的微探针系统满足检测性能要求.
電子產品高集成度與高性能化的髮展,對超精錶麵微觀形貌輪廓納米呎度微裂紋損傷檢測要求越來越高.設計靈敏度高、重現性好、響應快速的微探針繫統是實現納米呎度分辨率、大視場損傷檢測的關鍵部件之一.文中對設計的微探針繫統受力阻尼諧振過程進行瞭分析,給齣共振頻率的測試方法.在此基礎上進行瞭共振頻率測試對比試驗,併對微探針振動進行瞭測試.試驗結果錶明,設計的微探針繫統滿足檢測性能要求.
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