物理学报
物理學報
물이학보
2008年
4期
2445-2449
,共5页
丁志博%王坤%陈田祥%陈迪%姚淑德
丁誌博%王坤%陳田祥%陳迪%姚淑德
정지박%왕곤%진전상%진적%요숙덕
GaN%卢瑟福背散射%沟道%欧姆接触
GaN%盧瑟福揹散射%溝道%歐姆接觸
GaN%로슬복배산사%구도%구모접촉
用卢瑟福背散射,沟道技术研究了p-GaN上的Ni/Au电极在氧气氛下相同合金温度(500℃)不同合金时间后的微结构演化,以揭示欧姆接触的形成机制.利用背散射随机谱和RUMP模拟程序研究了电极金属之间的互扩散,用沟道谱探测了电极金属中的氧分布.结合不同合金时间下比接触电阻ρc的变化,发现随着合金时间的延长比接触电阻持续降低,在合金时间60s后降低的速度减慢,Au扩散到GaN的表面,在p-GaN上形成外延结构,O向电极内部扩散反应生成NiO对降低ρc起到了关键的作用,表明合金后Ni/Au双层电极中层反转效应已经发生,这种结构变化是形成欧姆接触的有效机制.在相同合金温度(500℃)不同合金时间中,氧气氛中的p-GaN/Ni/Au电极在合金时间为300 s时形成的欧姆接触效果最佳.
用盧瑟福揹散射,溝道技術研究瞭p-GaN上的Ni/Au電極在氧氣氛下相同閤金溫度(500℃)不同閤金時間後的微結構縯化,以揭示歐姆接觸的形成機製.利用揹散射隨機譜和RUMP模擬程序研究瞭電極金屬之間的互擴散,用溝道譜探測瞭電極金屬中的氧分佈.結閤不同閤金時間下比接觸電阻ρc的變化,髮現隨著閤金時間的延長比接觸電阻持續降低,在閤金時間60s後降低的速度減慢,Au擴散到GaN的錶麵,在p-GaN上形成外延結構,O嚮電極內部擴散反應生成NiO對降低ρc起到瞭關鍵的作用,錶明閤金後Ni/Au雙層電極中層反轉效應已經髮生,這種結構變化是形成歐姆接觸的有效機製.在相同閤金溫度(500℃)不同閤金時間中,氧氣氛中的p-GaN/Ni/Au電極在閤金時間為300 s時形成的歐姆接觸效果最佳.
용로슬복배산사,구도기술연구료p-GaN상적Ni/Au전겁재양기분하상동합금온도(500℃)불동합금시간후적미결구연화,이게시구모접촉적형성궤제.이용배산사수궤보화RUMP모의정서연구료전겁금속지간적호확산,용구도보탐측료전겁금속중적양분포.결합불동합금시간하비접촉전조ρc적변화,발현수착합금시간적연장비접촉전조지속강저,재합금시간60s후강저적속도감만,Au확산도GaN적표면,재p-GaN상형성외연결구,O향전겁내부확산반응생성NiO대강저ρc기도료관건적작용,표명합금후Ni/Au쌍층전겁중층반전효응이경발생,저충결구변화시형성구모접촉적유효궤제.재상동합금온도(500℃)불동합금시간중,양기분중적p-GaN/Ni/Au전겁재합금시간위300 s시형성적구모접촉효과최가.
