兵工学报
兵工學報
병공학보
ACTA ARMAMENTARII
2008年
12期
1497-1500
,共4页
高延军%端木庆铎%王国政%李野%田景全
高延軍%耑木慶鐸%王國政%李野%田景全
고연군%단목경탁%왕국정%리야%전경전
电子物理学%电化学刻蚀%大孔深通道阵列%氢氟酸%P型硅
電子物理學%電化學刻蝕%大孔深通道陣列%氫氟痠%P型硅
전자물이학%전화학각식%대공심통도진렬%경불산%P형규
在自制的三极电解槽中,采用浓度不同的氢氟酸(HF)电解液在一定掺杂浓度的p型硅基上,研究了大孔深通道阵列的形成过程.通过一系列实验、电化学测试与分析,从理论上论述了P型大孔深通道阵列的形成微观机制,同时解释了电化学刻蚀反应与HF浓度的关系,指出了HF浓度决定电化学反应刻蚀的进行与否与样品质量的关键.提供了一种利用电化学刻蚀工艺制备P型大孔深通道阵列经济实用的方法.实验结果对其形成具有指导意义.
在自製的三極電解槽中,採用濃度不同的氫氟痠(HF)電解液在一定摻雜濃度的p型硅基上,研究瞭大孔深通道陣列的形成過程.通過一繫列實驗、電化學測試與分析,從理論上論述瞭P型大孔深通道陣列的形成微觀機製,同時解釋瞭電化學刻蝕反應與HF濃度的關繫,指齣瞭HF濃度決定電化學反應刻蝕的進行與否與樣品質量的關鍵.提供瞭一種利用電化學刻蝕工藝製備P型大孔深通道陣列經濟實用的方法.實驗結果對其形成具有指導意義.
재자제적삼겁전해조중,채용농도불동적경불산(HF)전해액재일정참잡농도적p형규기상,연구료대공심통도진렬적형성과정.통과일계렬실험、전화학측시여분석,종이론상논술료P형대공심통도진렬적형성미관궤제,동시해석료전화학각식반응여HF농도적관계,지출료HF농도결정전화학반응각식적진행여부여양품질량적관건.제공료일충이용전화학각식공예제비P형대공심통도진렬경제실용적방법.실험결과대기형성구유지도의의.
