无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2000年
1期
179-182
,共4页
陈弟虎%魏爱香%周友国%范家海%杨增红%彭少麒
陳弟虎%魏愛香%週友國%範傢海%楊增紅%彭少麒
진제호%위애향%주우국%범가해%양증홍%팽소기
非晶金刚石薄膜%拉曼光谱%表面形貌
非晶金剛石薄膜%拉曼光譜%錶麵形貌
비정금강석박막%랍만광보%표면형모
碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构和性质最关键的工艺参数. 采用磁过滤真空溅射离子技术,研究不同衬底偏压V b(即不同碳离子能量)下制备的非晶金刚石薄膜的拉曼光谱和表面形貌. 结果表明: -50V V b-10V时,样品表面均匀、光滑,拉曼谱是对称且很宽的散射带;V b>-10V 或V b<-50V时,已有晶团出现,表面粗糙度明显增加,拉曼谱明显地分裂为1580cm-1的G带和1350cm-1的D带.
碳離子的能量是影響非晶金剛石薄膜結構和性質最關鍵的工藝參數. 採用磁過濾真空濺射離子技術,研究不同襯底偏壓V b(即不同碳離子能量)下製備的非晶金剛石薄膜的拉曼光譜和錶麵形貌. 結果錶明: -50V V b-10V時,樣品錶麵均勻、光滑,拉曼譜是對稱且很寬的散射帶;V b>-10V 或V b<-50V時,已有晶糰齣現,錶麵粗糙度明顯增加,拉曼譜明顯地分裂為1580cm-1的G帶和1350cm-1的D帶.
탄리자적능량시영향비정금강석박막결구화성질최관건적공예삼수. 채용자과려진공천사리자기술,연구불동츤저편압V b(즉불동탄리자능량)하제비적비정금강석박막적랍만광보화표면형모. 결과표명: -50V V b-10V시,양품표면균균、광활,랍만보시대칭차흔관적산사대;V b>-10V 혹V b<-50V시,이유정단출현,표면조조도명현증가,랍만보명현지분렬위1580cm-1적G대화1350cm-1적D대.
