工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2010年
4期
72-75
,共4页
黄强先%王广红%万耿华%倪康
黃彊先%王廣紅%萬耿華%倪康
황강선%왕엄홍%만경화%예강
压电微音叉%相位反馈控制%锁相环路%扫描探针显微镜
壓電微音扠%相位反饋控製%鎖相環路%掃描探針顯微鏡
압전미음차%상위반궤공제%쇄상배로%소묘탐침현미경
压电微音叉具有谐振频率稳定、品质因数高和易于实现音叉臂的振动检测等优点.利用微音叉的这些特性,将其与钨探针结合,构成了压电微音叉扫描探针显微镜(SPM)测头,可实现对微观表面的测量.该测头扫描时,压电微音叉的谐振频率被试样表面原子和钨探针尖端原子间的作用力调制.探针的谐振状态通过锁相环路(PLL)实现,微音叉测头与试样间的恒定测力及测头的z向定位通过相位反馈控制实现.此外,测量系统可同时获得试样表面的微观轮廓图和相位图.
壓電微音扠具有諧振頻率穩定、品質因數高和易于實現音扠臂的振動檢測等優點.利用微音扠的這些特性,將其與鎢探針結閤,構成瞭壓電微音扠掃描探針顯微鏡(SPM)測頭,可實現對微觀錶麵的測量.該測頭掃描時,壓電微音扠的諧振頻率被試樣錶麵原子和鎢探針尖耑原子間的作用力調製.探針的諧振狀態通過鎖相環路(PLL)實現,微音扠測頭與試樣間的恆定測力及測頭的z嚮定位通過相位反饋控製實現.此外,測量繫統可同時穫得試樣錶麵的微觀輪廓圖和相位圖.
압전미음차구유해진빈솔은정、품질인수고화역우실현음차비적진동검측등우점.이용미음차적저사특성,장기여오탐침결합,구성료압전미음차소묘탐침현미경(SPM)측두,가실현대미관표면적측량.해측두소묘시,압전미음차적해진빈솔피시양표면원자화오탐침첨단원자간적작용력조제.탐침적해진상태통과쇄상배로(PLL)실현,미음차측두여시양간적항정측력급측두적z향정위통과상위반궤공제실현.차외,측량계통가동시획득시양표면적미관륜곽도화상위도.
