光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2010年
3期
361-364
,共4页
F-P腔%稳频激光%沉积台%原子沉积
F-P腔%穩頻激光%沉積檯%原子沉積
F-P강%은빈격광%침적태%원자침적
为实现对F-P腔腔长的控制,设计了F-P腔腔长锁定控制系统.该系统以633nm稳频激光作为基准光源,通过控制系统驱动压电陶瓷调节F-P腔的腔长,以实现将F-P腔的谐振频率锁定到基准光源的频率上.实验结果表明.该方案切实可行,锁定后的F-P腔腔长的不确定度可达10-10量级.该方法在原子沉积技术中对于实现沉积台的稳定具有重要的指导意义.
為實現對F-P腔腔長的控製,設計瞭F-P腔腔長鎖定控製繫統.該繫統以633nm穩頻激光作為基準光源,通過控製繫統驅動壓電陶瓷調節F-P腔的腔長,以實現將F-P腔的諧振頻率鎖定到基準光源的頻率上.實驗結果錶明.該方案切實可行,鎖定後的F-P腔腔長的不確定度可達10-10量級.該方法在原子沉積技術中對于實現沉積檯的穩定具有重要的指導意義.
위실현대F-P강강장적공제,설계료F-P강강장쇄정공제계통.해계통이633nm은빈격광작위기준광원,통과공제계통구동압전도자조절F-P강적강장,이실현장F-P강적해진빈솔쇄정도기준광원적빈솔상.실험결과표명.해방안절실가행,쇄정후적F-P강강장적불학정도가체10-10량급.해방법재원자침적기술중대우실현침적태적은정구유중요적지도의의.
