航天返回与遥感
航天返迴與遙感
항천반회여요감
SPACECRAFT RECOVERY & REMOTE SENSING
2011年
6期
74-77
,共4页
苑永涛%刘红%陈益超%敬畏%宋宁%方敬忠
苑永濤%劉紅%陳益超%敬畏%宋寧%方敬忠
원영도%류홍%진익초%경외%송저%방경충
反应烧结碳化硅%射频磁控溅射%表面改性%材料制备%光学反射镜
反應燒結碳化硅%射頻磁控濺射%錶麵改性%材料製備%光學反射鏡
반응소결탄화규%사빈자공천사%표면개성%재료제비%광학반사경
RB-SiC RF magnetron sputtering Surface modification Material preparation Optical mirror
为了获得高质量光学表面的碳化硅反射镜，利用射频磁控溅射方法，在直径80mm的RB—SiC基片上沉积了厚约60μm的SiC致密改性涂层，使用传统机械抛光方法对改性层进行超光滑加工，并测试了改性前后的表面粗糙度。结果表明，抛光后SiC表面改性RB—SiC反射镜表面粗糙度均方根（rms）值达到了0．316nm。获得了具有较高光学表面质量的超光滑RB—SiC材料。
為瞭穫得高質量光學錶麵的碳化硅反射鏡，利用射頻磁控濺射方法，在直徑80mm的RB—SiC基片上沉積瞭厚約60μm的SiC緻密改性塗層，使用傳統機械拋光方法對改性層進行超光滑加工，併測試瞭改性前後的錶麵粗糙度。結果錶明，拋光後SiC錶麵改性RB—SiC反射鏡錶麵粗糙度均方根（rms）值達到瞭0．316nm。穫得瞭具有較高光學錶麵質量的超光滑RB—SiC材料。
위료획득고질량광학표면적탄화규반사경，이용사빈자공천사방법，재직경80mm적RB—SiC기편상침적료후약60μm적SiC치밀개성도층，사용전통궤계포광방법대개성층진행초광활가공，병측시료개성전후적표면조조도。결과표명，포광후SiC표면개성RB—SiC반사경표면조조도균방근（rms）치체도료0．316nm。획득료구유교고광학표면질량적초광활RB—SiC재료。
In order to manufacture RB-SiC mirrors of fine optical surface, 601zm thick SiC coating was prepared by RF magnetron sputtering on RB-SiC substrate of 80mm diameter and then polished.Tests with ZYGO surface profilometer show that the surface roughness rms of the surface-modified RB-SiC achieves 0.316nm. Therefore, the magnetron sputtered SiC coating can satisfy the requirements of RB-SiC surface modification.
