人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
1期
20-23
,共4页
夏冬林%徐俊%刘俊%雷盼
夏鼕林%徐俊%劉俊%雷盼
하동림%서준%류준%뢰반
磁控溅射%CuInS2薄膜%固态源硫化法%微观结构
磁控濺射%CuInS2薄膜%固態源硫化法%微觀結構
자공천사%CuInS2박막%고태원류화법%미관결구
采用磁控溅射技术在镀Mo玻璃基片上沉积Cu-In金属预制膜后在N2气氛下硫化制备CuInS2薄膜.研究热处理硫化时间对CuInS2薄膜的表面形貌和晶相结构性能的影响.利用场发射扫描电镜(FE-SEM)、X射线衍射(XRD)和Raman光谱等测试手段对薄膜的表面形貌和晶相结构进行表征.实验结果表明,采用磁控溅射金属预制膜经适当的时间硫化所制备的CuInS2薄膜为黄铜矿结构,随着硫化时间的增加,CuInS2薄膜的晶粒的形貌由球形结构向片状结构转化,并且硫化时间越长,所得薄膜的结晶性能越好,但过长的硫化时间会生成Cu-Au相而导致薄膜质量的劣化.
採用磁控濺射技術在鍍Mo玻璃基片上沉積Cu-In金屬預製膜後在N2氣氛下硫化製備CuInS2薄膜.研究熱處理硫化時間對CuInS2薄膜的錶麵形貌和晶相結構性能的影響.利用場髮射掃描電鏡(FE-SEM)、X射線衍射(XRD)和Raman光譜等測試手段對薄膜的錶麵形貌和晶相結構進行錶徵.實驗結果錶明,採用磁控濺射金屬預製膜經適噹的時間硫化所製備的CuInS2薄膜為黃銅礦結構,隨著硫化時間的增加,CuInS2薄膜的晶粒的形貌由毬形結構嚮片狀結構轉化,併且硫化時間越長,所得薄膜的結晶性能越好,但過長的硫化時間會生成Cu-Au相而導緻薄膜質量的劣化.
채용자공천사기술재도Mo파리기편상침적Cu-In금속예제막후재N2기분하류화제비CuInS2박막.연구열처리류화시간대CuInS2박막적표면형모화정상결구성능적영향.이용장발사소묘전경(FE-SEM)、X사선연사(XRD)화Raman광보등측시수단대박막적표면형모화정상결구진행표정.실험결과표명,채용자공천사금속예제막경괄당적시간류화소제비적CuInS2박막위황동광결구,수착류화시간적증가,CuInS2박막적정립적형모유구형결구향편상결구전화,병차류화시간월장,소득박막적결정성능월호,단과장적류화시간회생성Cu-Au상이도치박막질량적열화.
