传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
3期
43-45,49
,共4页
气体传感器%煤油%微加工%微结构体%脉冲加热
氣體傳感器%煤油%微加工%微結構體%脈遲加熱
기체전감기%매유%미가공%미결구체%맥충가열
基于半导体式气体传感原理,提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3膜加工成微热板结构载体,采用平面薄膜工艺制做Pt薄膜加热电阻和信号电极.在微热板的2个电极上,涂敷γ-Fe2O3-SnO2-Pt-Pd形成煤油蒸气敏感单元,实现在微结构体上气体检测的二单元集成.传感器采用脉冲工作方式,工作周期为30 s,在加热峰值形成高温400℃的煤油检测条件.测试结果表明:煤油(标志物:癸烷)检测可实现体积分数(0～7000)×10-6范围,90％的吸附响应时间小于8s,脱附响应时间小于12s,传感器信号输出与煤油体积分数有对应的全对数线性关系.
基于半導體式氣體傳感原理,提齣瞭利用MEMS技術將電化學生長的Al2O3膜加工成微熱闆結構載體,採用平麵薄膜工藝製做Pt薄膜加熱電阻和信號電極.在微熱闆的2箇電極上,塗敷γ-Fe2O3-SnO2-Pt-Pd形成煤油蒸氣敏感單元,實現在微結構體上氣體檢測的二單元集成.傳感器採用脈遲工作方式,工作週期為30 s,在加熱峰值形成高溫400℃的煤油檢測條件.測試結果錶明:煤油(標誌物:癸烷)檢測可實現體積分數(0～7000)×10-6範圍,90％的吸附響應時間小于8s,脫附響應時間小于12s,傳感器信號輸齣與煤油體積分數有對應的全對數線性關繫.
기우반도체식기체전감원리,제출료이용MEMS기술장전화학생장적Al2O3막가공성미열판결구재체,채용평면박막공예제주Pt박막가열전조화신호전겁.재미열판적2개전겁상,도부γ-Fe2O3-SnO2-Pt-Pd형성매유증기민감단원,실현재미결구체상기체검측적이단원집성.전감기채용맥충공작방식,공작주기위30 s,재가열봉치형성고온400℃적매유검측조건.측시결과표명:매유(표지물:계완)검측가실현체적분수(0～7000)×10-6범위,90％적흡부향응시간소우8s,탈부향응시간소우12s,전감기신호수출여매유체적분수유대응적전대수선성관계.
