微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
3期
155-158
,共4页
刘学璋%王柏春%许向阳%谢圣中%翟海军
劉學璋%王柏春%許嚮暘%謝聖中%翟海軍
류학장%왕백춘%허향양%사골중%적해군
抛光%纳米金刚石%微晶玻璃基板
拋光%納米金剛石%微晶玻璃基闆
포광%납미금강석%미정파리기판
应用经良好分散的纳米金刚石对硬盘微晶玻璃基板进行抛光,获得了亚纳米级表面(0.618 nm).分析了纳米金刚石抛光的行为,展望了纳米金刚石在超精密抛光领域的应用.
應用經良好分散的納米金剛石對硬盤微晶玻璃基闆進行拋光,穫得瞭亞納米級錶麵(0.618 nm).分析瞭納米金剛石拋光的行為,展望瞭納米金剛石在超精密拋光領域的應用.
응용경량호분산적납미금강석대경반미정파리기판진행포광,획득료아납미급표면(0.618 nm).분석료납미금강석포광적행위,전망료납미금강석재초정밀포광영역적응용.
