物理学报
物理學報
물이학보
2007年
4期
2382-2387
,共6页
王颖%刘旭%章岳光%顾培夫%厉以宇%李明宇
王穎%劉旭%章嶽光%顧培伕%厲以宇%李明宇
왕영%류욱%장악광%고배부%려이우%리명우
多层介质薄膜%高斯光%热过程%数值分析
多層介質薄膜%高斯光%熱過程%數值分析
다층개질박막%고사광%열과정%수치분석
在多层介质薄膜中,激光的入射方式是影响薄膜抗损伤能力的关键因素之一.提出了一种模拟锥角高斯光入射多层介质薄膜后电场和热场分布的方法.该方法能够分析薄膜中高斯光各个角谱分量叠加形成的电场分布,进而得到由于薄膜本征吸收产生的热量沉积以及薄膜内部的温度场分布.针对中心波长为4.3 μm的中红外高反膜进行了分析,给出了高反膜系的温升峰值随激光入射角度和偏振态的变化.结果表明:对于s偏振光,斜入射时膜系的最高温升峰值高于垂直入射峰值,而p光的结果则相反.此种模拟方法克服了原有方法对激光入射角度的限制,较好地反映出斜入射情况下激光偏振态对薄膜损伤的影响.
在多層介質薄膜中,激光的入射方式是影響薄膜抗損傷能力的關鍵因素之一.提齣瞭一種模擬錐角高斯光入射多層介質薄膜後電場和熱場分佈的方法.該方法能夠分析薄膜中高斯光各箇角譜分量疊加形成的電場分佈,進而得到由于薄膜本徵吸收產生的熱量沉積以及薄膜內部的溫度場分佈.針對中心波長為4.3 μm的中紅外高反膜進行瞭分析,給齣瞭高反膜繫的溫升峰值隨激光入射角度和偏振態的變化.結果錶明:對于s偏振光,斜入射時膜繫的最高溫升峰值高于垂直入射峰值,而p光的結果則相反.此種模擬方法剋服瞭原有方法對激光入射角度的限製,較好地反映齣斜入射情況下激光偏振態對薄膜損傷的影響.
재다층개질박막중,격광적입사방식시영향박막항손상능력적관건인소지일.제출료일충모의추각고사광입사다층개질박막후전장화열장분포적방법.해방법능구분석박막중고사광각개각보분량첩가형성적전장분포,진이득도유우박막본정흡수산생적열량침적이급박막내부적온도장분포.침대중심파장위4.3 μm적중홍외고반막진행료분석,급출료고반막계적온승봉치수격광입사각도화편진태적변화.결과표명:대우s편진광,사입사시막계적최고온승봉치고우수직입사봉치,이p광적결과칙상반.차충모의방법극복료원유방법대격광입사각도적한제,교호지반영출사입사정황하격광편진태대박막손상적영향.
