CAJ | 학술논문

研究不同温度下硅烷分解所制备的非晶硅粉的晶化规律.对非晶硅粉采用不同的温度进行退火处理使其晶化,用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外可见吸收谱(UV)进行分析.结果表明:当退火温度高于750℃,硅粉开始晶化;温度低于750℃时,硅粉较难结晶.通过Scherrer 公式计算,结合SEM和UV验证表明:750℃时,非晶硅粉晶化并不完全,退火后颗粒大小约为200nm.紫外可见光谱分析得到退火后光学带隙为1.5 eV左右.
연구불동온도하규완분해소제비적비정규분적정화규률.대비정규분채용불동적온도진행퇴화처리사기정화,용X사선연사의(XRD)、소묘전자현미경(SEM)화자외가견흡수보(UV)진행분석.결과표명:당퇴화온도고우750℃,규분개시정화;온도저우750℃시,규분교난결정.통과Scherrer 공식계산,결합SEM화UV험증표명:750℃시,비정규분정화병불완전,퇴화후과립대소약위200nm.자외가견광보분석득도퇴화후광학대극위1.5 eV좌우.