工程设计学报
工程設計學報
공정설계학보
JOURNAL OF ENGINEERING DESIGN
2009年
1期
63-67
,共5页
微机电系统%有限元法%静电微泵%泵膜
微機電繫統%有限元法%靜電微泵%泵膜
미궤전계통%유한원법%정전미빙%빙막
对MEMS中应用广泛的静电微泵进行有限元建模分析.对于涉及多能量域下多场耦合的静电微泵建模,在仿真过程中进行了合理简化.其中在静态分析中,利用圆型薄板的小挠度变形理论和微机电系统中的静电力驱动理论来模拟静电-结构耦合过程;在泵膜的模态分析、谐响应分析以及非线性瞬态分析中,把腔内的流体当作附加质量作用在泵膜上,近似代替流场对泵膜的影响,从而减小计算量,提高了仿真效率.
對MEMS中應用廣汎的靜電微泵進行有限元建模分析.對于涉及多能量域下多場耦閤的靜電微泵建模,在倣真過程中進行瞭閤理簡化.其中在靜態分析中,利用圓型薄闆的小撓度變形理論和微機電繫統中的靜電力驅動理論來模擬靜電-結構耦閤過程;在泵膜的模態分析、諧響應分析以及非線性瞬態分析中,把腔內的流體噹作附加質量作用在泵膜上,近似代替流場對泵膜的影響,從而減小計算量,提高瞭倣真效率.
대MEMS중응용엄범적정전미빙진행유한원건모분석.대우섭급다능량역하다장우합적정전미빙건모,재방진과정중진행료합리간화.기중재정태분석중,이용원형박판적소뇨도변형이론화미궤전계통중적정전력구동이론래모의정전-결구우합과정;재빙막적모태분석、해향응분석이급비선성순태분석중,파강내적류체당작부가질량작용재빙막상,근사대체류장대빙막적영향,종이감소계산량,제고료방진효솔.
