真空
真空
진공
VACUUM
2009年
2期
45-48
,共4页
邹上荣%王海燕%耿梅艳%穆慧
鄒上榮%王海燕%耿梅豔%穆慧
추상영%왕해연%경매염%목혜
ZAO薄膜%直流反应磁控溅射%沉积速率
ZAO薄膜%直流反應磁控濺射%沉積速率
ZAO박막%직류반응자공천사%침적속솔
实验以合金靶材在玻璃衬底上运用直流反应磁控溅射法制备了ZAO(ZnO:Al)透明导电薄膜样品.研究了O2气流量,衬底温度,以及反应气压和溅射功率等工艺参数对ZAO薄膜沉积速率的影响规律.结果表明:沉积速率随O2气流量的增加显著降低,靶面溅射模式由金属模式转变为氧化物模式,而且这种转变趋势在改变其他参数时依然明显;沉积速率随溅射功率的增大几乎成线性增加,但随衬底温度的变化并不大;在反应气压增大的情况下,沉积速率不断上升,达到最大值后,又随气压的增大不断下降.
實驗以閤金靶材在玻璃襯底上運用直流反應磁控濺射法製備瞭ZAO(ZnO:Al)透明導電薄膜樣品.研究瞭O2氣流量,襯底溫度,以及反應氣壓和濺射功率等工藝參數對ZAO薄膜沉積速率的影響規律.結果錶明:沉積速率隨O2氣流量的增加顯著降低,靶麵濺射模式由金屬模式轉變為氧化物模式,而且這種轉變趨勢在改變其他參數時依然明顯;沉積速率隨濺射功率的增大幾乎成線性增加,但隨襯底溫度的變化併不大;在反應氣壓增大的情況下,沉積速率不斷上升,達到最大值後,又隨氣壓的增大不斷下降.
실험이합금파재재파리츤저상운용직류반응자공천사법제비료ZAO(ZnO:Al)투명도전박막양품.연구료O2기류량,츤저온도,이급반응기압화천사공솔등공예삼수대ZAO박막침적속솔적영향규률.결과표명:침적속솔수O2기류량적증가현저강저,파면천사모식유금속모식전변위양화물모식,이차저충전변추세재개변기타삼수시의연명현;침적속솔수천사공솔적증대궤호성선성증가,단수츤저온도적변화병불대;재반응기압증대적정황하,침적속솔불단상승,체도최대치후,우수기압적증대불단하강.
