人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2009年
3期
772-776
,共5页
赵静%刘丽杰%蔡宁%薛俊明%赵颖
趙靜%劉麗傑%蔡寧%薛俊明%趙穎
조정%류려걸%채저%설준명%조영
ZnO%掺杂%电学特性
ZnO%摻雜%電學特性
ZnO%참잡%전학특성
以ZnO、Al2O3粉体为原料,采用常压烧结方法制备高导电性ZnO: Al陶瓷靶材,并系统研究了Al掺杂量对该靶材的晶体结构、微观形貌以及电学特性的影响.结果表明:Al2O3掺杂量是影响ZnO陶瓷靶材导电性的重要因素之一.随Al: Zn原子比从0: 100变化至8.0: 100,电阻率呈现先递减后递增的规律.当Al: Zn原子比为4.0: 100时,所制备的ZnO陶瓷靶材电阻率最低,为4.1×10-3 Ω·cm;当Al掺杂量超过某一数值后,将导致锌铝尖晶石相(ZnAl2O4)的生成,从而使材料的电阻率升高.为了获得高导电性能的ZnO靶材,必须精确控制Al的掺入量,以防止锌铝尖晶石的生成.
以ZnO、Al2O3粉體為原料,採用常壓燒結方法製備高導電性ZnO: Al陶瓷靶材,併繫統研究瞭Al摻雜量對該靶材的晶體結構、微觀形貌以及電學特性的影響.結果錶明:Al2O3摻雜量是影響ZnO陶瓷靶材導電性的重要因素之一.隨Al: Zn原子比從0: 100變化至8.0: 100,電阻率呈現先遞減後遞增的規律.噹Al: Zn原子比為4.0: 100時,所製備的ZnO陶瓷靶材電阻率最低,為4.1×10-3 Ω·cm;噹Al摻雜量超過某一數值後,將導緻鋅鋁尖晶石相(ZnAl2O4)的生成,從而使材料的電阻率升高.為瞭穫得高導電性能的ZnO靶材,必鬚精確控製Al的摻入量,以防止鋅鋁尖晶石的生成.
이ZnO、Al2O3분체위원료,채용상압소결방법제비고도전성ZnO: Al도자파재,병계통연구료Al참잡량대해파재적정체결구、미관형모이급전학특성적영향.결과표명:Al2O3참잡량시영향ZnO도자파재도전성적중요인소지일.수Al: Zn원자비종0: 100변화지8.0: 100,전조솔정현선체감후체증적규률.당Al: Zn원자비위4.0: 100시,소제비적ZnO도자파재전조솔최저,위4.1×10-3 Ω·cm;당Al참잡량초과모일수치후,장도치자려첨정석상(ZnAl2O4)적생성,종이사재료적전조솔승고.위료획득고도전성능적ZnO파재,필수정학공제Al적참입량,이방지자려첨정석적생성.
