测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2010年
5期
377-380
,共4页
高安然%李铁%刘翔%焦继伟%王跃林
高安然%李鐵%劉翔%焦繼偉%王躍林
고안연%리철%류상%초계위%왕약림
微液滴%温度梯度%表面张力梯度%电阻加热器%开放式结构
微液滴%溫度梯度%錶麵張力梯度%電阻加熱器%開放式結構
미액적%온도제도%표면장력제도%전조가열기%개방식결구
设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s.
設計併製作瞭一種基于溫度梯度驅動的液滴傳輸芯片,以實現對微液滴傳輸的精確控製.介紹瞭驅動原理和工藝流程,分析瞭倣真和實驗結果.該芯片利用溫度梯度下液滴錶麵形成的錶麵張力梯度來傳輸液滴,採用玻璃作為襯底,Ti為電阻加熱器,Au為電極,PECVD氧化硅為介質層,碳氟聚閤物為疏水層,實現瞭器件製作.芯片採用開放式結構,製作工藝簡單,操作方便.測試結果錶明,驅動功率為0.38 W時,去離子水和硅油的傳輸速率分彆達到0.1 mm/s和1 mm/s.
설계병제작료일충기우온도제도구동적액적전수심편,이실현대미액적전수적정학공제.개소료구동원리화공예류정,분석료방진화실험결과.해심편이용온도제도하액적표면형성적표면장력제도래전수액적,채용파리작위츤저,Ti위전조가열기,Au위전겁,PECVD양화규위개질층,탄불취합물위소수층,실현료기건제작.심편채용개방식결구,제작공예간단,조작방편.측시결과표명,구동공솔위0.38 W시,거리자수화규유적전수속솔분별체도0.1 mm/s화1 mm/s.
