山东科学
山東科學
산동과학
SHANDONG SCIENCE
2011年
1期
55-60
,共6页
马玉英%刘爱华%刘玫%许士才%侯娟%郭进进
馬玉英%劉愛華%劉玫%許士纔%侯娟%郭進進
마옥영%류애화%류매%허사재%후연%곽진진
脉冲激光沉积(PLD)%β-FeSi2薄膜%溅射时间
脈遲激光沉積(PLD)%β-FeSi2薄膜%濺射時間
맥충격광침적(PLD)%β-FeSi2박막%천사시간
本文基于脉冲激光沉积(PLD)方法及热退火处理方式,利用输出波长为1064 nm的Nd:YAG脉冲激光器在P型Si(100)衬底上生长了均匀的单相β-FeSi2薄膜.采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)分析技术,研究了β-FeSi2薄膜的结构、组分、结晶质量和表面形貌.结果发现,在其他相同沉积条件下,随着溅射时间的增加,薄膜晶化程度、颗粒大小和形状、表面粗糙度都发生规律性变化,通过分析比较得出,在本实验条件下溅射时间为40 min制备的β-FeSi2薄膜结晶质量较好.
本文基于脈遲激光沉積(PLD)方法及熱退火處理方式,利用輸齣波長為1064 nm的Nd:YAG脈遲激光器在P型Si(100)襯底上生長瞭均勻的單相β-FeSi2薄膜.採用X射線衍射(XRD)、掃描電鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)分析技術,研究瞭β-FeSi2薄膜的結構、組分、結晶質量和錶麵形貌.結果髮現,在其他相同沉積條件下,隨著濺射時間的增加,薄膜晶化程度、顆粒大小和形狀、錶麵粗糙度都髮生規律性變化,通過分析比較得齣,在本實驗條件下濺射時間為40 min製備的β-FeSi2薄膜結晶質量較好.
본문기우맥충격광침적(PLD)방법급열퇴화처리방식,이용수출파장위1064 nm적Nd:YAG맥충격광기재P형Si(100)츤저상생장료균균적단상β-FeSi2박막.채용X사선연사(XRD)、소묘전경(SEM)、원자력현미경(AFM)분석기술,연구료β-FeSi2박막적결구、조분、결정질량화표면형모.결과발현,재기타상동침적조건하,수착천사시간적증가,박막정화정도、과립대소화형상、표면조조도도발생규률성변화,통과분석비교득출,재본실험조건하천사시간위40 min제비적β-FeSi2박막결정질량교호.
