双材料微梁阵列非制冷红外成像技术--微梁阵列热变形的光学读出
쌍재료미량진렬비제랭홍외성상기술--미량진렬열변형적광학독출
Bimaterial Micro-Cantilever Uncooled Infrared Imaging System Optical Readout Section
  • 万方数据
    实验力学 실험역학
    JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS
    2005年 z1期 4-10 ,共7页

    郭哲颖%段志辉%张青川%伍小平%董凤良%潘亮%陈大鹏%王玮冰

    곽철영%단지휘%장청천%오소평%동봉량%반량%진대붕%왕위빙

    双材料微悬臂梁%非制冷红外成像%光学读出 雙材料微懸臂樑%非製冷紅外成像%光學讀齣
    쌍재료미현비량%비제랭홍외성상%광학독출
    针对双材料微梁阵列非制冷红外成像技术的光学读出系统,提出了在谱平面上进行刀口滤波将阵列转角转化为像平面上光强变化的高灵敏度测量技术,并对光学探测灵敏度进行了理论分析.利用该光学读出系统在实验中得到了120℃红外物体的热图像.通过对实验结果的分析和图像处理消除噪声技术,得到该系统在成像温度范围的噪声等效温度差(NETD)约为5K,并对系统噪声进行了讨论.
    침대쌍재료미량진렬비제랭홍외성상기술적광학독출계통,제출료재보평면상진행도구려파장진렬전각전화위상평면상광강변화적고령민도측량기술,병대광학탐측령민도진행료이론분석.이용해광학독출계통재실험중득도료120℃홍외물체적열도상.통과대실험결과적분석화도상처리소제조성기술,득도해계통재성상온도범위적조성등효온도차(NETD)약위5K,병대계통조성진행료토론.
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