CAJ | 학술논문

多光谱成像光谱技术正在向光谱通道更多、集成度更高、体积小和重量更轻的方向发展,而用于分光的多通道滤光片是其关键光学元件,需要相应发展新型多光谱窄带集成滤光片制备技术.提出了组合刻蚀法布里-珀罗(F-P)滤光片间隔层的方法,将光学薄膜制备技术,离子束刻蚀技术与掩膜法技术相结合,形成新的多通道集成滤光片的制备方法.并在单个微型基片上,成功制备了集成16通道窄带线阵滤光片,获得的单元滤光片几何线宽为0.7mm,相对半峰全宽优于1.0%,透射峰定位精度优于0.25%.这一方法不但可满足集成度更高的滤光器件的要求,而且拓展了薄膜制备的方法.
다광보성상광보기술정재향광보통도경다、집성도경고、체적소화중량경경적방향발전,이용우분광적다통도려광편시기관건광학원건,수요상응발전신형다광보착대집성려광편제비기술.제출료조합각식법포리-박라(F-P)려광편간격층적방법,장광학박막제비기술,리자속각식기술여엄막법기술상결합,형성신적다통도집성려광편적제비방법.병재단개미형기편상,성공제비료집성16통도착대선진려광편,획득적단원려광편궤하선관위0.7mm,상대반봉전관우우1.0%,투사봉정위정도우우0.25%.저일방법불단가만족집성도경고적려광기건적요구,이차탁전료박막제비적방법.