清华大学学报（自然科学版）
清華大學學報（自然科學版）
청화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
1期
28-31
,共4页
刘亮%张贵新%朱志杰%罗承沐
劉亮%張貴新%硃誌傑%囉承沐
류량%장귀신%주지걸%라승목
微波等离子体%电场强度%环形波导%有限元软件
微波等離子體%電場彊度%環形波導%有限元軟件
미파등리자체%전장강도%배형파도%유한원연건
为使激发微波等离子体的腔体设计更便捷并详细了解腔内的电场分布,迫切希望有仿真工具支持.该文介绍了一台环形波导微波等离子体设备,利用一种有限元软件对反应腔内的电场分布和功率密度进行仿真,并运用光电探头和水负载温升法实际测量反应腔内的对应参数.实验结果表明: 反应腔内的电场分布、功率密度均与仿真结果大致接近,证实运用此种计算工具对微波等离子体反应腔进行数字化设计是可行的.同时,该软件仿真得到的腔内电场分布,能够为微波等离子体激发过程的研究提供指导.
為使激髮微波等離子體的腔體設計更便捷併詳細瞭解腔內的電場分佈,迫切希望有倣真工具支持.該文介紹瞭一檯環形波導微波等離子體設備,利用一種有限元軟件對反應腔內的電場分佈和功率密度進行倣真,併運用光電探頭和水負載溫升法實際測量反應腔內的對應參數.實驗結果錶明: 反應腔內的電場分佈、功率密度均與倣真結果大緻接近,證實運用此種計算工具對微波等離子體反應腔進行數字化設計是可行的.同時,該軟件倣真得到的腔內電場分佈,能夠為微波等離子體激髮過程的研究提供指導.
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