光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2008年
6期
1233-1237
,共5页
曹召良%胡五生%穆全全%胡立发%彭增辉%刘永刚%宣丽
曹召良%鬍五生%穆全全%鬍立髮%彭增輝%劉永剛%宣麗
조소량%호오생%목전전%호립발%팽증휘%류영강%선려
子孔径%光学检测%拼接准确度
子孔徑%光學檢測%拼接準確度
자공경%광학검측%병접준학도
实验研究了子孔径光学检测的拼接准确度.实验选取9个子孔径进行拼接,同时利用ZYGO干涉仪来测量子孔径和整个被检面的表面面形.实验发现,测量基准子孔径和整个被检面的时间间隔对子孔径拼接准确度的评价存在严重影响.为此,重点研究了产生影响的原因并提出了消除测量基准子孔径和整个被测面时间间隙影响的方法.最后,利用该方法研究了子孔径重叠面积对拼接准确度的影响.结果显示,当重叠面积比为7%时,PV和RMS的拼接误差分别为0.03λ(λ=632.8 nm) 和 0.01λ,并且重叠面积比和拼接准确度呈近似线性关系.
實驗研究瞭子孔徑光學檢測的拼接準確度.實驗選取9箇子孔徑進行拼接,同時利用ZYGO榦涉儀來測量子孔徑和整箇被檢麵的錶麵麵形.實驗髮現,測量基準子孔徑和整箇被檢麵的時間間隔對子孔徑拼接準確度的評價存在嚴重影響.為此,重點研究瞭產生影響的原因併提齣瞭消除測量基準子孔徑和整箇被測麵時間間隙影響的方法.最後,利用該方法研究瞭子孔徑重疊麵積對拼接準確度的影響.結果顯示,噹重疊麵積比為7%時,PV和RMS的拼接誤差分彆為0.03λ(λ=632.8 nm) 和 0.01λ,併且重疊麵積比和拼接準確度呈近似線性關繫.
실험연구료자공경광학검측적병접준학도.실험선취9개자공경진행병접,동시이용ZYGO간섭의래측양자공경화정개피검면적표면면형.실험발현,측량기준자공경화정개피검면적시간간격대자공경병접준학도적평개존재엄중영향.위차,중점연구료산생영향적원인병제출료소제측량기준자공경화정개피측면시간간극영향적방법.최후,이용해방법연구료자공경중첩면적대병접준학도적영향.결과현시,당중첩면적비위7%시,PV화RMS적병접오차분별위0.03λ(λ=632.8 nm) 화 0.01λ,병차중첩면적비화병접준학도정근사선성관계.
