功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
4期
757-762
,共6页
江炳尧%冯涛%王曦%柳襄怀
江炳堯%馮濤%王晞%柳襄懷
강병요%풍도%왕희%류양부
离子束辅助沉积%铂碳混合膜%栅电子发射
離子束輔助沉積%鉑碳混閤膜%柵電子髮射
리자속보조침적%박탄혼합막%책전자발사
采用离子束辅助沉积技术,在硅、钼衬底上分别制备铂碳混合膜.XRD的分析结果表明,当铂碳混合膜中铂的组份较多时,有较强的铂(111)面衍射峰和较弱的铂(200)面衍射峰,铂的组份呈(111)择优取向.Raman谱的分析结果表明,碳基本上呈非晶状态.模拟二极管的实验表明,在纯钼阳极上镀覆铂碳混合膜,其抑制热电子发射的性能明显优于纯钼阳极.
採用離子束輔助沉積技術,在硅、鉬襯底上分彆製備鉑碳混閤膜.XRD的分析結果錶明,噹鉑碳混閤膜中鉑的組份較多時,有較彊的鉑(111)麵衍射峰和較弱的鉑(200)麵衍射峰,鉑的組份呈(111)擇優取嚮.Raman譜的分析結果錶明,碳基本上呈非晶狀態.模擬二極管的實驗錶明,在純鉬暘極上鍍覆鉑碳混閤膜,其抑製熱電子髮射的性能明顯優于純鉬暘極.
채용리자속보조침적기술,재규、목츤저상분별제비박탄혼합막.XRD적분석결과표명,당박탄혼합막중박적조빈교다시,유교강적박(111)면연사봉화교약적박(200)면연사봉,박적조빈정(111)택우취향.Raman보적분석결과표명,탄기본상정비정상태.모의이겁관적실험표명,재순목양겁상도복박탄혼합막,기억제열전자발사적성능명현우우순목양겁.
