光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2009年
3期
415-418
,共4页
邓元龙%李学金%柴金龙%徐刚
鄧元龍%李學金%柴金龍%徐剛
산원룡%리학금%시금룡%서강
光学测量%干涉椭偏术%非线性误差%寄生虚反射%薄膜测量
光學測量%榦涉橢偏術%非線性誤差%寄生虛反射%薄膜測量
광학측량%간섭타편술%비선성오차%기생허반사%박막측량
研究了一种采用横向塞曼激光器并且没有任何运动部件的外差干涉椭偏测量系统.由非理想的激光源、偏振分光镜等器件所产生的非线性误差,是影响纳米测量精度的主要因素.采用琼斯矢量法,分析并建立了光学系统寄生虚反射所引入的误差模型,讨论了虚反射对误差漂移的影响.在不考虑其它误差因素的前提下,同一光路内部产生的同频率虚反射波对测量结果没有影响;而不同频率的参考光束与测量光束之间的交叉虚反射所产生的膜厚测量误差为亚纳米量级.讨论了消除和抑制虚反射误差的方法.
研究瞭一種採用橫嚮塞曼激光器併且沒有任何運動部件的外差榦涉橢偏測量繫統.由非理想的激光源、偏振分光鏡等器件所產生的非線性誤差,是影響納米測量精度的主要因素.採用瓊斯矢量法,分析併建立瞭光學繫統寄生虛反射所引入的誤差模型,討論瞭虛反射對誤差漂移的影響.在不攷慮其它誤差因素的前提下,同一光路內部產生的同頻率虛反射波對測量結果沒有影響;而不同頻率的參攷光束與測量光束之間的交扠虛反射所產生的膜厚測量誤差為亞納米量級.討論瞭消除和抑製虛反射誤差的方法.
연구료일충채용횡향새만격광기병차몰유임하운동부건적외차간섭타편측량계통.유비이상적격광원、편진분광경등기건소산생적비선성오차,시영향납미측량정도적주요인소.채용경사시량법,분석병건립료광학계통기생허반사소인입적오차모형,토론료허반사대오차표이적영향.재불고필기타오차인소적전제하,동일광로내부산생적동빈솔허반사파대측량결과몰유영향;이불동빈솔적삼고광속여측량광속지간적교차허반사소산생적막후측량오차위아납미량급.토론료소제화억제허반사오차적방법.
