四川师范大学学报（自然科学版）
四川師範大學學報（自然科學版）
사천사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SICHUAN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2012年
1期
105-108
,共4页
SmCo5薄膜%共溅射%退火温度%矫顽力
SmCo5薄膜%共濺射%退火溫度%矯頑力
SmCo5박막%공천사%퇴화온도%교완력
以Cr层为底层和保护层,采用直流共溅射的方法在Si基片上制备了Cr( 80 nm)/SmCo5( 300nm)/Cr(8 nm)薄膜,并对样品进行550℃保温30 min的退火,然后分别利用EDX射线能谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜、振动样品磁强计分析研究了退火前后SmCo5薄膜样品的成分、结构、表面形貌、磁学性能及其变化规律.结果表明:在10-4 Pa真空环境下,SmCo5薄膜在550℃退火,保温30 min后具有较好的硬磁性能,矫顽力Hc为1 738 Oe.
以Cr層為底層和保護層,採用直流共濺射的方法在Si基片上製備瞭Cr( 80 nm)/SmCo5( 300nm)/Cr(8 nm)薄膜,併對樣品進行550℃保溫30 min的退火,然後分彆利用EDX射線能譜儀、X射線衍射儀、原子力顯微鏡、振動樣品磁彊計分析研究瞭退火前後SmCo5薄膜樣品的成分、結構、錶麵形貌、磁學性能及其變化規律.結果錶明:在10-4 Pa真空環境下,SmCo5薄膜在550℃退火,保溫30 min後具有較好的硬磁性能,矯頑力Hc為1 738 Oe.
이Cr층위저층화보호층,채용직류공천사적방법재Si기편상제비료Cr( 80 nm)/SmCo5( 300nm)/Cr(8 nm)박막,병대양품진행550℃보온30 min적퇴화,연후분별이용EDX사선능보의、X사선연사의、원자력현미경、진동양품자강계분석연구료퇴화전후SmCo5박막양품적성분、결구、표면형모、자학성능급기변화규률.결과표명:재10-4 Pa진공배경하,SmCo5박막재550℃퇴화,보온30 min후구유교호적경자성능,교완력Hc위1 738 Oe.
