强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
8期
1965-1969
,共5页
王英龙%胡自强%邓泽超%翟小林%褚立志%丁学成%傅广生
王英龍%鬍自彊%鄧澤超%翟小林%褚立誌%丁學成%傅廣生
왕영룡%호자강%산택초%적소림%저립지%정학성%부엄생
脉冲激光烧蚀%平均尺寸%烧蚀粒子%阻尼系数%空间分布
脈遲激光燒蝕%平均呎吋%燒蝕粒子%阻尼繫數%空間分佈
맥충격광소식%평균척촌%소식입자%조니계수%공간분포
在10 Pa的Ar环境气体中,采用脉冲激光烧蚀技术,分别在半径为2.0,2.5,3.0,3.5和4.0 cm的半圆环不同角度处的衬底上制备了一系列含有纳米晶粒的Si晶薄膜.使用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和拉曼光谱仪对其表面形貌和微观结构进行分析表征.结果表明,纳米Si晶粒的平均尺寸和烧蚀粒子的阻尼系散均相对于羽辉轴向呈对称分布,并随着与羽辉轴向夹角的增大而减小;同时,随着衬底半径的增加,晶粒平均尺寸和阻尼系数均逐渐减小.
在10 Pa的Ar環境氣體中,採用脈遲激光燒蝕技術,分彆在半徑為2.0,2.5,3.0,3.5和4.0 cm的半圓環不同角度處的襯底上製備瞭一繫列含有納米晶粒的Si晶薄膜.使用掃描電子顯微鏡、X射線衍射儀和拉曼光譜儀對其錶麵形貌和微觀結構進行分析錶徵.結果錶明,納米Si晶粒的平均呎吋和燒蝕粒子的阻尼繫散均相對于羽輝軸嚮呈對稱分佈,併隨著與羽輝軸嚮夾角的增大而減小;同時,隨著襯底半徑的增加,晶粒平均呎吋和阻尼繫數均逐漸減小.
재10 Pa적Ar배경기체중,채용맥충격광소식기술,분별재반경위2.0,2.5,3.0,3.5화4.0 cm적반원배불동각도처적츤저상제비료일계렬함유납미정립적Si정박막.사용소묘전자현미경、X사선연사의화랍만광보의대기표면형모화미관결구진행분석표정.결과표명,납미Si정립적평균척촌화소식입자적조니계산균상대우우휘축향정대칭분포,병수착여우휘축향협각적증대이감소;동시,수착츤저반경적증가,정립평균척촌화조니계수균축점감소.
