微电子技术
微電子技術
미전자기술
MICRO ELECTRONIC TECHNOLOGY
2001年
4期
42-45
,共4页
质量监控%设计验证%PCM%工艺标准化%设计规则
質量鑑控%設計驗證%PCM%工藝標準化%設計規則
질량감공%설계험증%PCM%공예표준화%설계규칙
本文讨论了集成电路生产中监控质量的主要因素.内容覆盖工艺开发、设计验证、工艺变更的管理、设备维护、在线检测/监控,以及PCM等.重视FAB厂与设计公司技术信息的交流,加强设计和工艺之间的沟通,保持关键工艺参数的稳定,必将显著提高IC产品的质量.
本文討論瞭集成電路生產中鑑控質量的主要因素.內容覆蓋工藝開髮、設計驗證、工藝變更的管理、設備維護、在線檢測/鑑控,以及PCM等.重視FAB廠與設計公司技術信息的交流,加彊設計和工藝之間的溝通,保持關鍵工藝參數的穩定,必將顯著提高IC產品的質量.
본문토론료집성전로생산중감공질량적주요인소.내용복개공예개발、설계험증、공예변경적관리、설비유호、재선검측/감공,이급PCM등.중시FAB엄여설계공사기술신식적교류,가강설계화공예지간적구통,보지관건공예삼수적은정,필장현저제고IC산품적질량.
