机电工程技术
機電工程技術
궤전공정기술
MACHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING TECHNOLOGY
2005年
5期
11-14,23
,共5页
微细零件%微细电化学加工%电化学显微镜%EFAB%CELT%超微细电极
微細零件%微細電化學加工%電化學顯微鏡%EFAB%CELT%超微細電極
미세령건%미세전화학가공%전화학현미경%EFAB%CELT%초미세전겁
介绍了微细电化学加工的原理及特点,详细介绍了基于电化学扫描探针显微镜进行的电化学微细加工技术、EFAB制作技术、刻蚀剂层技术(CELT)、超微细电极电化学加工技术等几种目前主要的微细电化学加工技术.
介紹瞭微細電化學加工的原理及特點,詳細介紹瞭基于電化學掃描探針顯微鏡進行的電化學微細加工技術、EFAB製作技術、刻蝕劑層技術(CELT)、超微細電極電化學加工技術等幾種目前主要的微細電化學加工技術.
개소료미세전화학가공적원리급특점,상세개소료기우전화학소묘탐침현미경진행적전화학미세가공기술、EFAB제작기술、각식제층기술(CELT)、초미세전겁전화학가공기술등궤충목전주요적미세전화학가공기술.
