物理学报
物理學報
물이학보
2007年
3期
1730-1734
,共5页
甄聪棉%马丽%张金娟%刘英%聂向富
甄聰棉%馬麗%張金娟%劉英%聶嚮富
견총면%마려%장금연%류영%섭향부
CocrTa%垂直磁记录%缓冲层%微结构
CocrTa%垂直磁記錄%緩遲層%微結構
CocrTa%수직자기록%완충층%미결구
利用直流对靶磁控溅射技术在单晶Si衬底上制备了C/CocrTa/(X=Cr,Ti)介质材料.分别采用振动样品磁强计、X射线衍射仪、扫描探针显微镜对样品的磁性、微结构等进行了测试分析.研究发现,Ti缓冲层有利于样品中Co晶粒的易轴垂直于膜面生长.以Ti为缓冲层的样品,颗粒尺寸和表面粗糙度较小,而且磁畴明显,说明以Ti为缓冲层的薄膜样品更适宜做垂直磁记录.
利用直流對靶磁控濺射技術在單晶Si襯底上製備瞭C/CocrTa/(X=Cr,Ti)介質材料.分彆採用振動樣品磁彊計、X射線衍射儀、掃描探針顯微鏡對樣品的磁性、微結構等進行瞭測試分析.研究髮現,Ti緩遲層有利于樣品中Co晶粒的易軸垂直于膜麵生長.以Ti為緩遲層的樣品,顆粒呎吋和錶麵粗糙度較小,而且磁疇明顯,說明以Ti為緩遲層的薄膜樣品更適宜做垂直磁記錄.
이용직류대파자공천사기술재단정Si츤저상제비료C/CocrTa/(X=Cr,Ti)개질재료.분별채용진동양품자강계、X사선연사의、소묘탐침현미경대양품적자성、미결구등진행료측시분석.연구발현,Ti완충층유리우양품중Co정립적역축수직우막면생장.이Ti위완충층적양품,과립척촌화표면조조도교소,이차자주명현,설명이Ti위완충층적박막양품경괄의주수직자기록.
