声学学报
聲學學報
성학학보
ACTA ACUSTICA
2007年
5期
435-441
,共7页
在前期研究(声学学报;1991;16(3):161-169)的基础上,建立了改进的热源分布模型.利用积分变换和特征函数展开法.求解了强度简谐调制的电子束源在各向同性试样中所激发的各种Lamb波模式,以及耦合在试样背面的压电片的电压输出,并分析了扫描电子声显微镜(SEAM)的信号激发机理.结果表明SEAM是一种高分辨率的近场成像技术,它的最佳横向空间分辨率为2√2倍的电子束焦斑半径.实验结果表明SEAM的空间分辨率可优于0.5 μm,小于试样的热扩散长度,从实验上证实了理论预计的SEAM的近场成像特征.
在前期研究(聲學學報;1991;16(3):161-169)的基礎上,建立瞭改進的熱源分佈模型.利用積分變換和特徵函數展開法.求解瞭彊度簡諧調製的電子束源在各嚮同性試樣中所激髮的各種Lamb波模式,以及耦閤在試樣揹麵的壓電片的電壓輸齣,併分析瞭掃描電子聲顯微鏡(SEAM)的信號激髮機理.結果錶明SEAM是一種高分辨率的近場成像技術,它的最佳橫嚮空間分辨率為2√2倍的電子束焦斑半徑.實驗結果錶明SEAM的空間分辨率可優于0.5 μm,小于試樣的熱擴散長度,從實驗上證實瞭理論預計的SEAM的近場成像特徵.
재전기연구(성학학보;1991;16(3):161-169)적기출상,건립료개진적열원분포모형.이용적분변환화특정함수전개법.구해료강도간해조제적전자속원재각향동성시양중소격발적각충Lamb파모식,이급우합재시양배면적압전편적전압수출,병분석료소묘전자성현미경(SEAM)적신호격발궤리.결과표명SEAM시일충고분변솔적근장성상기술,타적최가횡향공간분변솔위2√2배적전자속초반반경.실험결과표명SEAM적공간분변솔가우우0.5 μm,소우시양적열확산장도,종실험상증실료이론예계적SEAM적근장성상특정.
