传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
3期
428-430
,共3页
赵江铭%陈晓阳%刘武发%杨杰伟%王小静
趙江銘%陳曉暘%劉武髮%楊傑偉%王小靜
조강명%진효양%류무발%양걸위%왕소정
静电微谐振器%品质因子%振幅电压比%试验研究%半经验公式
靜電微諧振器%品質因子%振幅電壓比%試驗研究%半經驗公式
정전미해진기%품질인자%진폭전압비%시험연구%반경험공식
设计了多类直脚型、弓型梁和多折叠梁谐振器,测量了各谐振器的品质因子和振幅电压比.结合部分直脚型谐振器的实验结果,建立了半经验公式,并利用弓型梁和多折叠梁谐振器的实验结果进行了验证.结果表明所得公式形式简明,计算结果与实测值吻合较好.
設計瞭多類直腳型、弓型樑和多摺疊樑諧振器,測量瞭各諧振器的品質因子和振幅電壓比.結閤部分直腳型諧振器的實驗結果,建立瞭半經驗公式,併利用弓型樑和多摺疊樑諧振器的實驗結果進行瞭驗證.結果錶明所得公式形式簡明,計算結果與實測值吻閤較好.
설계료다류직각형、궁형량화다절첩량해진기,측량료각해진기적품질인자화진폭전압비.결합부분직각형해진기적실험결과,건립료반경험공식,병이용궁형량화다절첩량해진기적실험결과진행료험증.결과표명소득공식형식간명,계산결과여실측치문합교호.
