稀土
稀土
희토
CHINESE RARE EARTHS
2011年
3期
60-63
,共4页
吴蓉%李蓉萍%何志刚%安晓晖%李忠贤
吳蓉%李蓉萍%何誌剛%安曉暉%李忠賢
오용%리용평%하지강%안효휘%리충현
ZnSe薄膜%微结构%真空蒸发%掺杂
ZnSe薄膜%微結構%真空蒸髮%摻雜
ZnSe박막%미결구%진공증발%참잡
利用真空蒸发的方法制备ZnSe多晶薄膜,并采用双源法对薄膜进行了Dy的掺杂.用XRD、紫外可见分光光度仪对薄膜的性质进行了表征.结果表明,当Zn、Se原子配比为0.9:1时可制备较理想的ZnSe多晶薄膜,稀土Dy掺杂并未改变样品的物相结构,但掺杂使薄膜的晶格常数及晶胞体积略有增大,还使得薄膜的晶粒尺寸及压应力变小,掺杂后薄膜的光透射性得到改善.
利用真空蒸髮的方法製備ZnSe多晶薄膜,併採用雙源法對薄膜進行瞭Dy的摻雜.用XRD、紫外可見分光光度儀對薄膜的性質進行瞭錶徵.結果錶明,噹Zn、Se原子配比為0.9:1時可製備較理想的ZnSe多晶薄膜,稀土Dy摻雜併未改變樣品的物相結構,但摻雜使薄膜的晶格常數及晶胞體積略有增大,還使得薄膜的晶粒呎吋及壓應力變小,摻雜後薄膜的光透射性得到改善.
이용진공증발적방법제비ZnSe다정박막,병채용쌍원법대박막진행료Dy적참잡.용XRD、자외가견분광광도의대박막적성질진행료표정.결과표명,당Zn、Se원자배비위0.9:1시가제비교이상적ZnSe다정박막,희토Dy참잡병미개변양품적물상결구,단참잡사박막적정격상수급정포체적략유증대,환사득박막적정립척촌급압응력변소,참잡후박막적광투사성득도개선.
