广东化工
廣東化工
엄동화공
GUANGDONG CHEMICAL INDUSTRY
2011年
6期
197-198
,共2页
半导体%超纯水处理%优化设计
半導體%超純水處理%優化設計
반도체%초순수처리%우화설계
文章初步介绍了超纯水基本概念、用途和主要性能指标,详细阐述了超纯水处理系统的典型工艺流程、单元模块的主要功用、常用仪器设备等.同时,根据实际项目经验,对超纯水处理系统设计在水质性能指标、工艺流程、设备和运行成本等方面提出了优化措施.
文章初步介紹瞭超純水基本概唸、用途和主要性能指標,詳細闡述瞭超純水處理繫統的典型工藝流程、單元模塊的主要功用、常用儀器設備等.同時,根據實際項目經驗,對超純水處理繫統設計在水質性能指標、工藝流程、設備和運行成本等方麵提齣瞭優化措施.
문장초보개소료초순수기본개념、용도화주요성능지표,상세천술료초순수처리계통적전형공예류정、단원모괴적주요공용、상용의기설비등.동시,근거실제항목경험,대초순수처리계통설계재수질성능지표、공예류정、설비화운행성본등방면제출료우화조시.
