中南大学学报（自然科学版）
中南大學學報（自然科學版）
중남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CENTRAL SOUTH UNIVERSITY
2011年
7期
2147-2151
,共5页
赵保星%周继承%荣林艳%彭银桥
趙保星%週繼承%榮林豔%彭銀橋
조보성%주계승%영림염%팽은교
二氧化钛%直流反应磁控溅射%溅射功率%减反射薄膜%光学特性
二氧化鈦%直流反應磁控濺射%濺射功率%減反射薄膜%光學特性
이양화태%직류반응자공천사%천사공솔%감반사박막%광학특성
用溅射功率为100～500 W的直流反应磁控溅射法制备出不同结构与特性的TiO2薄膜样品;采用原子力显微镜(AFM)、X线衍射仪(XRD)、傅里叶红外光谱(FTIR)和紫外可见光分光光度计对薄膜的形貌、结构及光学特性进行表征；研究溅射功率对薄膜的结构、形貌及光学特性的影响.研究结果表明:沉积态薄膜均为无序结构,氧化物溅射模式下沉积的薄膜为透明状态,金属模式下沉积的薄膜不透明,TiO2薄膜的折射率随着溅射功率变化在1.8～2.3之间变化;在低功率制备的沉积态薄膜存在TiO0.5微晶,它使薄膜样品的透过率降低,这主要是TiO0.5微晶对光波的强烈吸收所致；400 W溅射功率下制备出适合太阳能电池减反射膜应用的透过率高及折射率大的TiO2减反膜.
用濺射功率為100～500 W的直流反應磁控濺射法製備齣不同結構與特性的TiO2薄膜樣品;採用原子力顯微鏡(AFM)、X線衍射儀(XRD)、傅裏葉紅外光譜(FTIR)和紫外可見光分光光度計對薄膜的形貌、結構及光學特性進行錶徵；研究濺射功率對薄膜的結構、形貌及光學特性的影響.研究結果錶明:沉積態薄膜均為無序結構,氧化物濺射模式下沉積的薄膜為透明狀態,金屬模式下沉積的薄膜不透明,TiO2薄膜的摺射率隨著濺射功率變化在1.8～2.3之間變化;在低功率製備的沉積態薄膜存在TiO0.5微晶,它使薄膜樣品的透過率降低,這主要是TiO0.5微晶對光波的彊烈吸收所緻；400 W濺射功率下製備齣適閤太暘能電池減反射膜應用的透過率高及摺射率大的TiO2減反膜.
용천사공솔위100～500 W적직류반응자공천사법제비출불동결구여특성적TiO2박막양품;채용원자력현미경(AFM)、X선연사의(XRD)、부리협홍외광보(FTIR)화자외가견광분광광도계대박막적형모、결구급광학특성진행표정；연구천사공솔대박막적결구、형모급광학특성적영향.연구결과표명:침적태박막균위무서결구,양화물천사모식하침적적박막위투명상태,금속모식하침적적박막불투명,TiO2박막적절사솔수착천사공솔변화재1.8～2.3지간변화;재저공솔제비적침적태박막존재TiO0.5미정,타사박막양품적투과솔강저,저주요시TiO0.5미정대광파적강렬흡수소치；400 W천사공솔하제비출괄합태양능전지감반사막응용적투과솔고급절사솔대적TiO2감반막.
