材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2000年
3期
48-49
,共2页
魏文霖%孟祥森%袁骏%杨辉%葛曼珍%季振国
魏文霖%孟祥森%袁駿%楊輝%葛曼珍%季振國
위문림%맹상삼%원준%양휘%갈만진%계진국
氮氧化硅%薄膜%性能%杂质%氢
氮氧化硅%薄膜%性能%雜質%氫
담양화규%박막%성능%잡질%경
氮氧化硅(SiON)薄膜是一种新型的薄膜材料,具有优良的充电性能、机械性能、钝化性能和化学稳定性能,但杂质氢的存在限制了它的应用.详细阐述了氮化硅薄中氢杂质的存在活动及其对薄膜性能的影响,并提出了降低氢含量的合理方法.
氮氧化硅(SiON)薄膜是一種新型的薄膜材料,具有優良的充電性能、機械性能、鈍化性能和化學穩定性能,但雜質氫的存在限製瞭它的應用.詳細闡述瞭氮化硅薄中氫雜質的存在活動及其對薄膜性能的影響,併提齣瞭降低氫含量的閤理方法.
담양화규(SiON)박막시일충신형적박막재료,구유우량적충전성능、궤계성능、둔화성능화화학은정성능,단잡질경적존재한제료타적응용.상세천술료담화규박중경잡질적존재활동급기대박막성능적영향,병제출료강저경함량적합리방법.
