清华大学学报（自然科学版）
清華大學學報（自然科學版）
청화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
2期
163-165,169
,共4页
沈全洪%蒋培军%齐国生%徐端颐%李庆祥
瀋全洪%蔣培軍%齊國生%徐耑頤%李慶祥
침전홍%장배군%제국생%서단이%리경상
母盘刻录%二级定位%压电陶瓷驱动器%PID%仿真
母盤刻錄%二級定位%壓電陶瓷驅動器%PID%倣真
모반각록%이급정위%압전도자구동기%PID%방진
为了满足高密度母盘刻录的需要,对母盘刻录中的二级定位(two-stage positioning)方法进行了研究,采用了直流电机驱动粗定位和压电陶瓷微型驱动精定位相结合的方式.使用双频激光干涉仪检测精定位工作台的位置,并引入比例增益K估计精定位工作台的位移增量,以估算粗定位工作台位置.对二级定位系统的PID控制方式进行了研究,合理选择了控制参数.仿真实验结果表明, PID控制下的二级定位系统对于 10 nm 的阶跃响应的上升时间为 20 ms, 稳态误差绝对值小于 0.1 nm, 可见采用该二级定位方法的系统有快速的定位响应和很高的定位精度,可以满足高密度母盘刻录的需要.
為瞭滿足高密度母盤刻錄的需要,對母盤刻錄中的二級定位(two-stage positioning)方法進行瞭研究,採用瞭直流電機驅動粗定位和壓電陶瓷微型驅動精定位相結閤的方式.使用雙頻激光榦涉儀檢測精定位工作檯的位置,併引入比例增益K估計精定位工作檯的位移增量,以估算粗定位工作檯位置.對二級定位繫統的PID控製方式進行瞭研究,閤理選擇瞭控製參數.倣真實驗結果錶明, PID控製下的二級定位繫統對于 10 nm 的階躍響應的上升時間為 20 ms, 穩態誤差絕對值小于 0.1 nm, 可見採用該二級定位方法的繫統有快速的定位響應和很高的定位精度,可以滿足高密度母盤刻錄的需要.
위료만족고밀도모반각록적수요,대모반각록중적이급정위(two-stage positioning)방법진행료연구,채용료직류전궤구동조정위화압전도자미형구동정정위상결합적방식.사용쌍빈격광간섭의검측정정위공작태적위치,병인입비례증익K고계정정위공작태적위이증량,이고산조정위공작태위치.대이급정위계통적PID공제방식진행료연구,합리선택료공제삼수.방진실험결과표명, PID공제하적이급정위계통대우 10 nm 적계약향응적상승시간위 20 ms, 은태오차절대치소우 0.1 nm, 가견채용해이급정위방법적계통유쾌속적정위향응화흔고적정위정도,가이만족고밀도모반각록적수요.
