平面工艺空间带电粒子探测器的研制
평면공예공간대전입자탐측기적연제
Development of planar technology space charged particle detector
  • 万方数据
    核电子学与探测技术 핵전자학여탐측기술
    NUCLEAR ELECTRONICS & DETECTION TECHNOLOGY
    2005年 6期 580-583 ,共4页

    谭继廉%靳根明%段利敏%王宏伟%袁小华%卢子伟%张金霞%鲍志勒%王柱生%李存璠%宁宝俊%田大宇%王玮%张录%高萍%王月%王世金%朱光武%梁金宝

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    平面工艺%离子注入%空间%带电粒子%探测器 平麵工藝%離子註入%空間%帶電粒子%探測器
    평면공예%리자주입%공간%대전입자%탐측기
    描述了用平面工艺+离子注入技术制备新型空间带电粒子探测器的工艺技术及器件的特性.探测器的灵敏层厚度为100、300、450和1000μm,灵敏面积为ψ8和ψ12mm等不同规格.在全耗尽偏压下,得到典型的反向漏电流范围为0.57～10.11nA,典型的能量分辨率为0.69%～0.86%(对241Amα粒子).在60℃高温下,器件的性能变化在空间应用的允许范围之内.
    묘술료용평면공예+리자주입기술제비신형공간대전입자탐측기적공예기술급기건적특성.탐측기적령민층후도위100、300、450화1000μm,령민면적위ψ8화ψ12mm등불동규격.재전모진편압하,득도전형적반향루전류범위위0.57～10.11nA,전형적능량분변솔위0.69%～0.86%(대241Amα입자).재60℃고온하,기건적성능변화재공간응용적윤허범위지내.
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