中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2005年
12期
1664-1667
,共4页
岳兆阳%张蕊%白少先%孟永钢%殷纯永
嶽兆暘%張蕊%白少先%孟永鋼%慇純永
악조양%장예%백소선%맹영강%은순영
测量%外差干涉%共光路%相位测量%磁头磁盘%静态间隙
測量%外差榦涉%共光路%相位測量%磁頭磁盤%靜態間隙
측량%외차간섭%공광로%상위측량%자두자반%정태간극
提出了一种共光路外差干涉测量模拟磁头磁盘静态间隙的方法,该方法以低频差横向塞曼双频激光器作为光源,采用专门设计的双折射透镜分光和相位测量技术,实现了对光波半波长的3600细分,从而使测量分辨率达到0.1 nm.原理实验结果表明,该系统在无恒温的普通实验室条件下,1 h内稳定测量实验结果漂移小于4 nm;利用压电陶瓷(PZT)微动工作台(步进分辨率1 nm)驱动反射镜(模拟磁头)产生位移,在1μm范围内与该系统测量结果进行比对,得到线性相关系数优于0.9998.
提齣瞭一種共光路外差榦涉測量模擬磁頭磁盤靜態間隙的方法,該方法以低頻差橫嚮塞曼雙頻激光器作為光源,採用專門設計的雙摺射透鏡分光和相位測量技術,實現瞭對光波半波長的3600細分,從而使測量分辨率達到0.1 nm.原理實驗結果錶明,該繫統在無恆溫的普通實驗室條件下,1 h內穩定測量實驗結果漂移小于4 nm;利用壓電陶瓷(PZT)微動工作檯(步進分辨率1 nm)驅動反射鏡(模擬磁頭)產生位移,在1μm範圍內與該繫統測量結果進行比對,得到線性相關繫數優于0.9998.
제출료일충공광로외차간섭측량모의자두자반정태간극적방법,해방법이저빈차횡향새만쌍빈격광기작위광원,채용전문설계적쌍절사투경분광화상위측량기술,실현료대광파반파장적3600세분,종이사측량분변솔체도0.1 nm.원리실험결과표명,해계통재무항온적보통실험실조건하,1 h내은정측량실험결과표이소우4 nm;이용압전도자(PZT)미동공작태(보진분변솔1 nm)구동반사경(모의자두)산생위이,재1μm범위내여해계통측량결과진행비대,득도선성상관계수우우0.9998.
